Le service de procédé a pour mission de développer et d’assurer les étapes de réalisation microélectroniques et des composants MEMS, plus précisément, les étapes suivantes :

  • Réalisation de procédés de dépôt physique et chimique
  • Gravure humide et nettoyage chimique
  • Réalisation de procédés de lithographie optique
  • Implantation ionique
  • Inspection et caractérisation des étapes de réalisation

Prestations procédés Microélectroniques

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