Le pulvérisateur DC (MRC 643) peut déposer des couches de métal type :
Le TRIKON DETLA 201 est configuré pour déposer des couches minces de :
Les équipements sont capables de graver les matériaux réagissant avec les gaz fluoré et chloré
Procédés de nettoyage et de gravure par solvants :
Procédés de nettoyage et de gravure :
Appareil de mesure de la résistance carrée avec la technique des 4 pointes (Diamètre max 150mm).
L’ellipsométrie est une technique de caractérisation optique non-intrusive permettant de déterminer :
Cet appareil est utilisé pour mesurer les profils de surface afin de déterminer :
Mesure optique d'épaisseur des couches minces
Le MEB peut être utilisé pour examiner les détails de surface de matériaux solides. Les surfaces internes peuvent être exposées par sectionnement.
Mesure des contraintes résiduelles dans les films minces.
La plateforme technologique de micro-fabrication lance de nombreuses prestations.